CVD 化学蒸着 ヒーター

ファブフロアでは、CVDチャンバーヒーターの0.5°Cのドリフトが堆積厚を規格外に押しやるのに十分であり、それはラインが停止することを意味します。ウエハ平面で重要な温度を保持するヒーターが必要であり、センサーだけではありません。また、粒子を添加したり、変動を増やしたりすることなくそれを行う必要があ...