ウェーハ加熱時の安全距離

では、ウェーハのIR硬化について話しましょう。 無鉛半導体製造を行っている方なら、乾燥や硬化処理がどれほど面倒かご存知でしょう。だからこそ、私たちの多くは赤外線による硬化処理を採用しているのです。 これを例えると、対流式オーブンは、エアヒーターを使って部屋を温めるようなものです。まず空気全体を温め...