洗浄後ウェーハ用赤外線ヒーター

この装置を使用すれば、洗浄後の工程までを含めてあらゆる処理を行うことができます。しかし、ウェーハが均一に乾燥しなかったり、加熱条件にばらつきがあったりすると、依然として不良が発生します。温度の不均一さは、ウェーハ表面に水滴や傷、端部分の突起として現れます。私たちは、こうした問題を解決するために、洗...