ファブ装置修理用の赤外線ヒーター

ファブ内では、工具の修理は予定を立てて行うものではありません。ラインが止まらないように、急いで対処する必要があります。コーティング装置やアニールモジュール、プローブステーションのヒーターが故障した場合、迅速に温度を回復させ、均一な温度を維持しなければなりません。また、粒子が発生しないようにしなけれ...