省エネ型ウェーハヒーター

ワットの無駄遣いをやめよう：ウェーハ加熱を適切に行う方法 半導体製造工場において、電力の無駄遣いは単なる予算上の問題ではなく、設計上の欠陥です。ウェーハを加熱するとき、単に「より多くの熱」が必要なわけではありません。重要なのは、そのエネルギーが本来あるべき場所、つまりウェーハの表面に確実に届くこと...