国際産業用ヒーター貿易ファブ

高ボリュームファブにおけるウエハ温度管理 高ボリュームファブでは、ウエハの温度はその場で調整する「変数」ではなく、歩留まり方程式の固定要素です。フォトレジスト処理やウエハ乾燥中の半度のドリフトは、後に厚さの不均一性やパターン欠陥として現れる可能性があり、それは電気テスト時にしか確認できず、その時点...