CNT製造において熱を最大限に活用する方法 もしウェーハ上でカーボンナノチューブを成長させているのであれば、その苦労はご存知でしょう。非常に高い熱密度が必要ですが、同時にその熱の分布も正確でなければなりません。電力を無駄に消費するだけでなく、さらに悪いことに、そのエネルギーがウェーハに届かずに機械...

もう、マシンの筐体をエアヒーターのように使うのはやめましょう。 半導体装置を開けてみると、顔に熱が直撃してくることがありますよね？ それが、従来の赤外線ヒーターの問題点です。これらのヒーターは、360度全方位に熱を放出します。狭い筐体内では、これは大変な問題です。機械の内壁が非常に高温になり、人が...