ウェハ用高精度IRセンサー

オーブンを待つのはやめよう：ウェーハ処理においてIR加熱が優れている理由 もしまだ半導体処理に強制送風方式を使っているのであれば、実際に作業を始める前に部屋全体が温まるのを待たなければなりません。これは非常に非効率的です。 空気対流方式は単純に非効率的です。まず空気を温め、その後でその空気がウェー...