オーブンを待つのはやめよう：ウェーハ処理においてIR加熱が優れている理由 もしまだ半導体処理に強制送風方式を使っているのであれば、実際に作業を始める前に部屋全体が温まるのを待たなければなりません。これは非常に非効率的です。 空気対流方式は単純に非効率的です。まず空気を温め、その後でその空気がウェー...

MEMSウェーハを乾燥させるためのより良い方法：なぜ私たちは赤外線を使うようにしたのか 正直に言って、従来のウェーハ乾燥法はひどいものです。化学溶剤や重金属、そしてVOCといった有害物質が存在するため、クリーンルームというよりは、まるで化学実験がうまくいかない場所のようです。 私たちはそうしたもの...

IRランプによって製品が台無しになるのを防ぎましょう。 大量の半導体を生産している場合、IRランプが破損するという最悪の事態を想像してみてください。単にヒーターが壊れるだけではありません。問題は、ガラス片や金属粉が飛び散り、ワークが台無しになってしまうことです。これにより、一括で多くのウェーハが廃...

ウェーハを清潔に保つために：水素センサーヒーターの真実 水素センサーを製造する際、高強度の赤外線ランプが重要な役割を果たします。しかし、問題は、これらのランプを極限まで使い続けると、破裂してしまう可能性があることです。 ランプが壊れると大変なことになります。単に稼働停止だけでは済みません。石英の破...

清潔を保つこと：スマートセンサーを効果的に加熱するための秘訣 クラス100のクリーンルームで作業を行う際、「十分に清潔であればいい」というわけにはいきません。わずかなほこりや微粒子があるだけで、大量のセンサーがダメになってしまいます。これは本当に悩ましい問題です。 そのため、私たちは単純に高い出力...