コーター・デベロッパー用赤外線ヒーター

リソグラフィー工程において、ソフトベイクやハードベイク時の温度が半度程度変動しても、それは決して小さな誤差ではありません。これは歩留まりの低下を意味します。フォトレジストの特性が変わり、重要な寸法が狂ってしまい、描画される線も正確に描かれなくなります。コーター/デベロッパー装置においては、この熱処...