グローブボックス用赤外線ヒーター要素

熱の無駄遣いをやめよう：なぜ金コーティングされたIR素子が効果的か もし、グローブボックス内でウェーハを加熱しようとしたことがあるなら、その大変さはご存知でしょう。限られたスペースの中で、エネルギーを有効に使わなければならず、通常、エネルギーの半分以上が実際に加熱すべき部分ではなく、チャンバーの壁...