なぜ、金メッキを施したツインチューブランプにおいて誘電体試験を行うのか？ 高強度の赤外線加熱を行う場合、たくさんの熱が必要になります。そのため、私たちはツインチューブランプに金メッキを施しているのです。これは見た目を良くするためではありません。実際には、金メッキによって赤外線が前方に反射され、対象...

バイオセンサーの製造において、混乱を招かずに適切な加熱を実現する方法 もし、クラス100のクリーンルームで働いたことがあるなら、そのストレスはよくわかるでしょう。ほんの少しのほこりや、空気中の異常な化学物質の匂いだけで、作成したセンサー全体が無価値になってしまいます。本当にイライラしますよね。 問...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために クラス100の環境で作業を行っている人なら、どれだけ大変かご存知でしょう。ほんの少しのほこりや、加熱時に発生する奇妙な化学物質の匂いだけで、一度に大量の製品が台無しになってしまいます。本当にイライラしますよね。 ほとんどの赤外線ランプは、こ...

なぜ金メッキされた赤外線ランプがスマートファクトリーにとって重要なのか もし、現代的で「スマート」なファクトリーを構築したいのであれば、まず最初にやるべきことは、従来型の加熱方式に頼るのをやめることです。それではもう十分ではありません。だからこそ、金メッキされた赤外線ランプを利用するのです。これに...

もう、マシンの筐体をエアヒーターのように使うのはやめましょう。 半導体装置を開けてみると、顔に熱が直撃してくることがありますよね？ それが、従来の赤外線ヒーターの問題点です。これらのヒーターは、360度全方位に熱を放出します。狭い筐体内では、これは大変な問題です。機械の内壁が非常に高温になり、人が...

オゾンによってスマートファブが壊れるのを防ごう 現代のデジタル化されたファブを構築する際、多くの人々は温度にこだわります。しかし実際には、問題は単に温度だけではありません。呼吸する空気や、使用する機器の健全性も重要です。 一般的な短波長のIRランプは、放出される紫外線のためにオゾン（O3）を生成し...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法 クラス100のクリーンルームを運用する際、熱は非常に厄介な問題です。単に温度を適切に保つだけでは不十分で、目に見えない微粒子や有機化合物（VOC）の問題も考慮しなければなりません。これらの物質は、医薬品の品質を台無しにしたり、ウェーハを数秒で...

揮発性化学物質を加熱する際の安全対策 もし、化学物質の洗浄にクリーンルーム用の工作台を使用しているのであれば、易燃性の溶剤を扱っているということです。このような状況では、普通の赤外線ランプを使うのは絶対に避けるべきです。そうしないと、大惨事が起こりかねません。だからこそ、私たちのIRシステムには、...

ファブでの正確な温度制御を実現するには ウェーハを硬化させる際、熱は不可欠です。しかし、それは微妙なバランスが必要です。もし熱が均一に分配されなければ、ウェーハが変形したり、化学的な沈着物が生じたりしてしまいます。これを防ぐために、私たちは高反射率のIRシステムを利用します。つまり、そのエネルギー...

バイオセンサーを加熱する際の安全対策 バイオセンサーを製造する場合、硬化や乾燥のために正確な温度が必要です。しかし問題は、可燃性の洗浄剤の近くで作業するとき、通常の赤外線ランプは単なる道具ではなく、危険な存在になってしまうことです。少しでも火花が発生すれば、大惨事につながりかねません。 そのため、...

半導体の加熱におけるエネルギーの無駄遣いを止める方法 正直に言うと、半導体の製造は極めて精密な作業です。しかし長年にわたり、私たちが熱を扱う方法は…まあ、効率的ではありませんでした。 従来の抵抗加熱式の炉では、ウェーハを適切な温度にするために、部屋全体を加熱しようとします。これは、コーヒーを温める...

はじめに この赤外線ヒーターは、Nikonのステッパーシステムにそのまま取り付けられるように設計されています。特別な改造や手間は不要です。これは、半導体製造工場で働くエンジニアたちのためのもので、最高性能が求められる一方で、OEM製品の高額な価格は負担になります。つまり、プロセスを安定させ、必要な...

製造現場において、SRDプロセスでは、わずかな不具合がすぐに品質低下を引き起こす可能性があります。たとえわずかに点灯しなくなっただけでも、水痕が残ったり、粒子数が急増したりして、良質なウェーハがスクラップになってしまいます。私たちは、このような問題を解決するために、特殊な赤外線ランプを開発しました...

ファブの現場では、フォトレジストの焼成時に2°Cもの温度変動があれば、多大な作業が台無しになってしまいます。認定された赤外線照射装置を使えば、そのようなリスクを排除でき、必要な場所に正確な熱を供給することができます。ウェーハの乾燥、フォトレジストのソフトベイクやハードベイク、パッケージング時のアン...

リソグラフィー工程において、ソフトベイク時の温度変動は、CD-SEMが異常を示すまで気づかない、見えにくい要因です。ウェーハ全体で0.5℃の温度差が生じると、重要な寸法制御が失われてしまいます。私たちは、このような温度変動を根本的に抑えるために、赤外線ソフトベイクランプを開発しました。 内部で何が...

ファブの現場では、フォトレジストの焼成処理は、些細なことを気にしている場合ではありません。±1.5℃程度の温度変動だけでも、部品の寸法に影響を与え、オーバーラップの許容範囲を超えてしまいます。ランプシールドは、このような熱管理を担う重要な役割を果たします。エネルギー源とウェハーの間に位置するこのシ...

ファブラボでは、フォトレジストの焼成は、絶対に見過ごしてはならない重要なプロセスです。ソフトベイクやハードベイク時の温度が2℃変動すれば、ウェハの寸法に影響が出てしまい、その結果、生産が止まってしまいます。そこで、私たちはこの石英製のスリーブを開発しました。これにより、一回の焼成処理から次の焼成処...

トラック上で、基板は一定で予測可能なリズムで動く――静かで繰り返し可能な動作だ。フォトレジストが塗布され、エッジビードが除去され、ウェハはベーク装置へと滑り込む。ここでサーマルバジェットを固定する：ソフトベークで溶剤を引き出し、ハードベークで接着を固定し現像挙動を安定させる。 フレキシブル基板の場...