オーブンを待つのはやめよう：ウェーハ処理においてIR加熱が優れている理由 もしまだ半導体処理に強制送風方式を使っているのであれば、実際に作業を始める前に部屋全体が温まるのを待たなければなりません。これは非常に非効率的です。 空気対流方式は単純に非効率的です。まず空気を温め、その後でその空気がウェー...

MEMSウェーハを乾燥させるためのより良い方法：なぜ私たちは赤外線を使うようにしたのか 正直に言って、従来のウェーハ乾燥法はひどいものです。化学溶剤や重金属、そしてVOCといった有害物質が存在するため、クリーンルームというよりは、まるで化学実験がうまくいかない場所のようです。 私たちはそうしたもの...

IRランプによって製品が台無しになるのを防ぎましょう。 大量の半導体を生産している場合、IRランプが破損するという最悪の事態を想像してみてください。単にヒーターが壊れるだけではありません。問題は、ガラス片や金属粉が飛び散り、ワークが台無しになってしまうことです。これにより、一括で多くのウェーハが廃...

ワットの無駄遣いをやめよう：ウェーハ加熱を適切に行う方法 半導体製造工場において、電力の無駄遣いは単なる予算上の問題ではなく、設計上の欠陥です。ウェーハを加熱するとき、単に「より多くの熱」が必要なわけではありません。重要なのは、そのエネルギーが本来あるべき場所、つまりウェーハの表面に確実に届くこと...

では、ウェーハのIR硬化について話しましょう。 無鉛半導体製造を行っている方なら、乾燥や硬化処理がどれほど面倒かご存知でしょう。だからこそ、私たちの多くは赤外線による硬化処理を採用しているのです。 これを例えると、対流式オーブンは、エアヒーターを使って部屋を温めるようなものです。まず空気全体を温め...

ファブでの正確な温度制御を実現するには ウェーハを硬化させる際、熱は不可欠です。しかし、それは微妙なバランスが必要です。もし熱が均一に分配されなければ、ウェーハが変形したり、化学的な沈着物が生じたりしてしまいます。これを防ぐために、私たちは高反射率のIRシステムを利用します。つまり、そのエネルギー...

この装置を使用すれば、洗浄後の工程までを含めてあらゆる処理を行うことができます。しかし、ウェーハが均一に乾燥しなかったり、加熱条件にばらつきがあったりすると、依然として不良が発生します。温度の不均一さは、ウェーハ表面に水滴や傷、端部分の突起として現れます。私たちは、こうした問題を解決するために、洗...

製造現場で、ウェハキャリアが洗浄浴から出てくるのを見て、その後の乾燥工程に苦労するのを目の当たりにすることがあるでしょう。経験則として、残留水分、熱応力、そして歩留まりやフォトレジスト不良を直接引き起こす浮遊粒子の存在が問題となります。熱の均一性は妥協できる要素ではありません。 実際に重要なポイン...