ファブ化学キャビネットヒーター

ファブ内では、フォトレジストの加熱処理の性能は、単にキャビネットの温度次第です。0.5℃の温度変動だけで、回路の寸法に影響が出ます。また、低温部分があるとフォトレジストがうまく機能しなくなり、不良が発生します。私たちは、このような温度変動を排除するために、専用のヒーターを開発しました。 内部で何が...