なぜ真空式赤外線ヒーターが無鉛材料の乾燥に最適なのか 半導体業界では、「グリーン」で無鉛の乾燥方法が求められています。長い間、私たちは対流オーブンを使ってきましたが、これは単に大量の空気を加熱するだけのものです。しかし、これはエネルギーの無駄遣いであり、正直、リスクが伴います。空気中の粒子がウェハ...

もう、ヒーターを待つのはやめましょう。なぜ真空赤外線ヒーターが半導体製造に最適なのか もし依然として半導体の深度加工に熱風循環を利用しているのであれば、実質的に半日以上を待つことに費やしていることになります。真空赤外線ヒーターに切り替えることは、単なるハードウェアの交換に過ぎず、ウエハーにエネルギ...