持続可能なファブ製造ソリューション

工具の壁面が過度に熱くなるのを防ぐ ほとんどの発熱体は、電球と同じように、あらゆる方向に熱を放出します。狭い半導体製造ラインでは、これは大きな問題です。発熱体からの熱が筐体内部に伝わると、内壁が焦げてしまいます。 単に人が火傷するだけではありません。このような過剰な熱は、ウェーハの熱安定性を乱して...