MEMSウェーハを乾燥させるためのより良い方法：なぜ私たちは赤外線を使うようにしたのか 正直に言って、従来のウェーハ乾燥法はひどいものです。化学溶剤や重金属、そしてVOCといった有害物質が存在するため、クリーンルームというよりは、まるで化学実験がうまくいかない場所のようです。 私たちはそうしたもの...

なぜスマートファブには赤外線が必要なのか？（そして、旧来の加熱方式がなぜ効率を低下させるのか） スマートファブを構築する際に最初にやるべきことは、古い対流式のヒーターを使わないことです。本当にそうです。乾燥に関して言えば、私たちは高効率な赤外線システムを採用しています。 なぜでしょうか？それは、赤...

トラック上で、基板は一定で予測可能なリズムで動く――静かで繰り返し可能な動作だ。フォトレジストが塗布され、エッジビードが除去され、ウェハはベーク装置へと滑り込む。ここでサーマルバジェットを固定する：ソフトベークで溶剤を引き出し、ハードベークで接着を固定し現像挙動を安定させる。 フレキシブル基板の場...