半導体ヒーター用テフロン線

フロア上で、その温度曲線は単なる指針ではない。プロセスそのものである。 わずかなズレでも生じるソフトベークは、フォトレジストの挙動に影響を与える。CD制御が乱れ、サイドウォールのプロファイルが乱れ、それに伴い歩留まりも低下する。ウェハ全体で均一でないハードベークは、スカムの発生、密着不良、そして数...