クリーンルーム用ヒーターを安全に保つために（そしてブレーカーも正常に動作させるために） クリーンルーム用オーブンを使用する際、所定の温度に到達することは半分の努力に過ぎません。本当の問題は、赤外線ヒーターがケースから電気的に絶縁されていない場合に発生します。 考えてみてください。わずかな漏れ電流や...

なぜ半導体の処理工程で強制送風方式をIR加熱に置き換えるのか？ もし従来型のクリーンルームで作業したことがあれば、そのやり方はよくわかるでしょう。古いタイプの処理装置を使っており、ウェハを適切な温度に保つために高温の空気を送り込んでいるのです。 問題は、この方法が遅いということです。 強制送風方式...