はじめに さっそく本題に入りましょう。私たちが製造するのは、信頼性の高いクォーツヒーターです。これらは、毎日繰り返される過酷な産業用加熱作業に最適なものです。つまり、毎日安定した熱が必要とされる場所で使われるのです。 私たちは、これらのヒーターが長期間耐えられると断言しています。実際、世界のトップ...

ファブの現場では、フォトレジストの焼成処理は、些細なことを気にしている場合ではありません。±1.5℃程度の温度変動だけでも、部品の寸法に影響を与え、オーバーラップの許容範囲を超えてしまいます。ランプシールドは、このような熱管理を担う重要な役割を果たします。エネルギー源とウェハーの間に位置するこのシ...