ウェーハ処理装置用の温度センサー

IRランプによって製品が台無しになるのを防ぎましょう。 大量の半導体を生産している場合、IRランプが破損するという最悪の事態を想像してみてください。単にヒーターが壊れるだけではありません。問題は、ガラス片や金属粉が飛び散り、ワークが台無しになってしまうことです。これにより、一括で多くのウェーハが廃...