高ボリュームファブにおけるウエハ温度管理 高ボリュームファブでは、ウエハの温度はその場で調整する「変数」ではなく、歩留まり方程式の固定要素です。フォトレジスト処理やウエハ乾燥中の半度のドリフトは、後に厚さの不均一性やパターン欠陥として現れる可能性があり、それは電気テスト時にしか確認できず、その時点...

作業場では、寒さは単なる不快感にとどまらず、動作のすべてを遅らせる。手がかじかみ、集中力が低下し、空間が暖まるのを待つ間に生産性が落ちる。そこで、冷気を迅速かつクリーンに信頼できる暖かさに変えるポータブル工業用ヒーターを開発した。 技術的に重要な点 3 kW定格の高出力素子と直接放射加熱方式を組み...