なぜ無鉛チップの製造にIR硬化方式を採用するのか 半導体業界は、もう昔から使われてきた大型の熱風乾燥機や溶剤を使った乾燥方法から脱却しつつあります。正直、そろそろその時が来ているのです。私たちは、従来の対流加熱方式の代わりに、デジタル式の赤外線乾燥装置を使用しています。 大きな違いというのは、IR...

製造現場で、ウェハキャリアが洗浄浴から出てくるのを見て、その後の乾燥工程に苦労するのを目の当たりにすることがあるでしょう。経験則として、残留水分、熱応力、そして歩留まりやフォトレジスト不良を直接引き起こす浮遊粒子の存在が問題となります。熱の均一性は妥協できる要素ではありません。 実際に重要なポイン...