ファブでの正確な温度制御を実現するには ウェーハを硬化させる際、熱は不可欠です。しかし、それは微妙なバランスが必要です。もし熱が均一に分配されなければ、ウェーハが変形したり、化学的な沈着物が生じたりしてしまいます。これを防ぐために、私たちは高反射率のIRシステムを利用します。つまり、そのエネルギー...

ファブの現場では、フォトレジストの焼成時に2°Cもの温度変動があれば、多大な作業が台無しになってしまいます。認定された赤外線照射装置を使えば、そのようなリスクを排除でき、必要な場所に正確な熱を供給することができます。ウェーハの乾燥、フォトレジストのソフトベイクやハードベイク、パッケージング時のアン...