ウェーハキャリア洗浄乾燥機

製造現場で、ウェハキャリアが洗浄浴から出てくるのを見て、その後の乾燥工程に苦労するのを目の当たりにすることがあるでしょう。経験則として、残留水分、熱応力、そして歩留まりやフォトレジスト不良を直接引き起こす浮遊粒子の存在が問題となります。熱の均一性は妥協できる要素ではありません。 実際に重要なポイン...