フレキシブルディスプレイ乾燥ランプファブ

トラック上で、基板は一定で予測可能なリズムで動く――静かで繰り返し可能な動作だ。フォトレジストが塗布され、エッジビードが除去され、ウェハはベーク装置へと滑り込む。ここでサーマルバジェットを固定する：ソフトベークで溶剤を引き出し、ハードベークで接着を固定し現像挙動を安定させる。 フレキシブル基板の場...