UHP 超高纯度 加热灯

遏止半导体制造过程中的能量浪费 说实话，半导体制造是一项要求极高精度的工艺。但长期以来，我们处理热量的方式其实相当浪费资源。 传统的电阻炉试图让整个腔室内的空气都升温，只为让晶圆达到所需的温度。这就好比为了加热一杯咖啡而打开家里的每一个暖气一样。 我们找到了更好的方法：使用超高纯度红外灯。这样一来...