在清洗之后，即使一切操作都做得完美无缺，如果晶圆干燥不均匀或烘烤过程出现偏差，仍可能导致产量下降。温度不均匀会导致诸如水印、表面氧化或边缘结珠等问题。为此，我们设计了专门的红外加热器，能够在晶圆表面实现精确的温度控制，从而避免这些缺陷的产生。 从技术层面来看，关键点在于： 我们使用响应速度快、光谱...

在晶圆厂车间，你看到晶圆载具从清洗槽中出来，随即经历干燥步骤的挑战。你很清楚其中的关键——残留水分、热应力以及空气中颗粒直接导致良率和光刻胶缺陷。热均匀性不是可以赌一把的因素。 设备核心性能 该晶圆载具清洗干燥机在腔体内实现±0.1°C的热均匀性，避免软烘和硬烘过程中产生破坏光刻胶稳定性的冷热斑点...