CVD 化学气相沉积 加热器

在晶圆厂车间，CVD腔室加热器温度漂移0.5℃就足以使沉积厚度超出规格——这意味着生产线必须停止运行。您需要一款加热器，能在关键点保持温度稳定，即晶圆平面，而不仅仅是传感器处。而且必须做到这一点，同时不产生颗粒或增加波动性。 技术关键点 我们围绕晶圆级热均匀性设计了CVD加热器——承载体上...