标签为“手套箱”的页面如下 手套箱红外加热元件 停止浪费热量:为何镀金红外元件如此高效 如果你曾经尝试过在手套箱内加热晶圆,就会明白其中的困难。你不得不为每一寸空间而挣扎,而且大部分能量都被用来加热腔体壁面,而非真正的晶圆本身。这既令人沮丧,也是一种能源的浪费。 普通的红外灯会将热量向四周散发。我们找到了更好的解决方案:镀金处理。 镀金的妙处... Read more...
手套箱红外加热元件 停止浪费热量:为何镀金红外元件如此高效 如果你曾经尝试过在手套箱内加热晶圆,就会明白其中的困难。你不得不为每一寸空间而挣扎,而且大部分能量都被用来加热腔体壁面,而非真正的晶圆本身。这既令人沮丧,也是一种能源的浪费。 普通的红外灯会将热量向四周散发。我们找到了更好的解决方案:镀金处理。 镀金的妙处... Read more...