清洗后的晶圆红外加热器

在清洗之后，即使一切操作都做得完美无缺，如果晶圆干燥不均匀或烘烤过程出现偏差，仍可能导致产量下降。温度不均匀会导致诸如水印、表面氧化或边缘结珠等问题。为此，我们设计了专门的红外加热器，能够在晶圆表面实现精确的温度控制，从而避免这些缺陷的产生。 从技术层面来看，关键点在于： 我们使用响应速度快、光谱...