晶圆载具清洗干燥机

在晶圆厂车间，你看到晶圆载具从清洗槽中出来，随即经历干燥步骤的挑战。你很清楚其中的关键——残留水分、热应力以及空气中颗粒直接导致良率和光刻胶缺陷。热均匀性不是可以赌一把的因素。 设备核心性能 该晶圆载具清洗干燥机在腔体内实现±0.1°C的热均匀性，避免软烘和硬烘过程中产生破坏光刻胶稳定性的冷热斑点...