节能型晶圆加热器

别再浪费能量了：正确加热晶圆的方法 在半导体制造厂中，能源的浪费不仅仅是个成本问题，更是一种设计缺陷。在为晶圆加热时，我们需要的不是“更多的热量”，而是让这些能量真正作用于需要加热的表面上。 因此，我们会使用镀金反射器。这种反射器能防止红外能量泄漏到机器的其余部分，从而避免能量白白浪费。 为什么选...