半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

なぜ半導体の処理工程で強制送風方式をIR加熱に置き換えるのか？ もし従来型のクリーンルームで作業したことがあれば、そのやり方はよくわかるでしょう。古いタイプの処理装置を使っており、ウェハを適切な温度に保つために高温の空気を送り込んでいるのです。 問題は、この方法が遅いということです。 強制送風方式...