用于光刻机的石英玻璃防护罩

在制造车间里，光阻烘烤的过程可不是可以掉以轻心的事情。温度如果出现±1.5°C的波动，就有可能导致关键尺寸发生变化，进而影响产品的一致性。而石英玻璃屏蔽罩则起到了控制温度的作用——它位于光源与晶圆之间，能够确保热量均匀分布，避免温度波动。 从技术层面来看，重要的是什么？ 我们设计石英玻璃屏蔽罩时，...