用于晶圆的精密红外传感器

别再等待烤箱升温了：为什么红外加热在晶圆加工中更高效 如果你仍然使用强制对流式加热方式来处理半导体，那其实就是在等待房间里的温度升上来之后才能开始工作。这样的效率实在低得可怜。 空气对流的方式效率低下——首先需要加热空气，然后让空气来加热晶圆。在这个过程中，你不得不一直盯着计时器，等待温度上升。...