MEMS传感器晶圆干燥加热器

更好的MEMS晶圆干燥方法：为何我们选择红外加热技术 坦白说，传统的晶圆干燥方式实在糟糕至极。那种方式需要使用化学溶剂、重金属，还有各种有害的挥发性有机化合物，这让洁净室看起来更像是一个出了问题的化学实验场所，而非真正的实验室。 我们决定放弃这种做法，转而使用红外加热技术。这种方式更环保、更高效，...