적외선 소프트 베이크 램프

리소그래피 공정에서는, 부드러운 가열 과정 중에 발생하는 온도 변동이 문제가 됩니다. 이러한 변동은 CD-SEM이 이상 신호를 보내기 전까지는 알아차리기 어렵습니다. 웨이퍼 전체에 걸쳐 0.5°C의 온도 차이가 생기면, 중요한 치수 제어가 불가능해집니다. 저희는 이러...