CVD(화학기상증착) 히터

팹 플로어에서 CVD 챔버 히터의 0.5°C 드리프트는 증착 두께를 규격에서 벗어나게 할 수 있으며, 이는 라인이 중단됨을 의미합니다. 웨이퍼 평면에서 온도를 유지할 수 있는 히터가 필요하며, 센서에서만 유지하는 것이 아닙니다. 그리고 이는 입자를 추가하거나 변동성을...