반도체 히터용 테플론 와이어

바닥에서, 그 온도 곡선은 단순한 가이드라인이 아니다. 그것이 바로 공정이다. 소프트 베이크에서 미세한 편차만 있어도 포토레지스트의 거동이 달라진다—CD 제어가 흔들리고, 사이드월 프로파일이 틀어지며, 수율도 함께 떨어진다. 웨이퍼 전체에 균일하지 않은 하드 베이크는...