무연 칩 제조를 위해 IR 경화 방식으로 전환하는 이유 반도체 산업은 이제 더 이상 오래된 방식의 열처리나 용매 기반의 건조 방식을 사용하지 않고 있습니다. 솔직히, 그동안 그런 방식을 계속 사용한 것은 문제였습니다. 우리는 이제 전통적인 대류식 가열 방식 대신 디지...

공정 현장에서 웨이퍼 캐리어가 세척 욕조에서 나오면 건조 과정에서 문제가 발생하는 것을 확인하게 된다. 경험상 알다시피 잔류 수분, 열 스트레스, 그리고 수율과 포토레지스트 결함을 직접적으로 유발하는 공기 중 입자들이 문제다. 열 균일성은 절대로 간과할 수 없는 요소...