웨이퍼 가공 장비용 온도 센서

IR 램프가 생산된 웨이퍼들을 망치는 것을 막으세요. 고부하의 반도체 생산을 하고 있다면, IR 램프가 고장나는 상황은 악몽과 같습니다. 단순히 히터가 고장 나는 것뿐만 아니라, 석영관이 파손되면 공구 주변에 유리 조각과 금속 가루들이 흩날립니다. 그렇게 되면 한 번...