팹 화학 캐비닛 히터

팹 내에서 포토레지스트의 건조 과정은 단 하나의 요소에 따라 결정됩니다. 바로 캐비닛의 온도입니다. 0.5°C만큼의 온도 변동이 있어도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 또한, 온도가 너무 낮으면 포토레지스트가 제대로 건조되지 않아 문제가 생깁니다. 우리는 이러한...