청소 후 웨이퍼용 적외선 히터
가공 과정에서는 세척 이후의 단계까지 모든 것을 제대로 수행할 수 있지만, 웨이퍼가 고르게 건조되지 않거나 소결 과정에서 문제가 생기면 여전히 문제가 발생할 수 있습니다. 온도의 불균일성은 워터마크, 표면 균열, 가장자리의 유분 현상 등으로 나타납니다. 저희는 이러한...
웨이퍼 캐리어 세척 건조기
공정 현장에서 웨이퍼 캐리어가 세척 욕조에서 나오면 건조 과정에서 문제가 발생하는 것을 확인하게 된다. 경험상 알다시피 잔류 수분, 열 스트레스, 그리고 수율과 포토레지스트 결함을 직접적으로 유발하는 공기 중 입자들이 문제다. 열 균일성은 절대로 간과할 수 없는 요소...