글로브박스 적외선 히터 소자

열 낭비를 멈추세요: 금 코팅된 IR 소자가 효과적인 이유 만약 글로브박스 내부에서 웨이퍼를 가열해본 적이 있다면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 공간이 부족하기 때문에 에너지의 절반은 실제로 웨이퍼를 가열하는 데 사용되지 않고, 오히려 챔버의 벽을 가열하는 데 쓰입니...