MEMS 웨이퍼를 더 효과적으로 건조시키는 방법: 왜 우리는 적외선을 선택했는가 솔직히 말해서, 전통적인 웨이퍼 건조 방식은 혼란스럽고 엉망진창입니다. 화학 용제나 중금속, 그리고 유해한 VOC들 때문에 청정실이 마치 실험실이라기보다는 실패한 화학 실험장처럼 보입니다...

왜 스마트 팹에는 적외선이 필요한가? (그리고 왜 기존의 난방 방식은 효율성을 저하시키는가?) 스마트 팹을 구축하려면 우선 그런 구식 대류식 난방기들을 버려야 합니다. 진심으로 말입니다. 건조 과정에서는 고효율의 적외선 시스템을 사용하는 것이 좋습니다. 왜냐하면 적외...

트랙 상에서 기판은 일정하고 예측 가능한 리듬으로 움직인다—조용하고 반복 가능하다. 포토레지스트가 도포되고, 에지 비드가 제거되며, 웨이퍼가 베이크 챔버로 슬라이딩된다. 여기서 열 예산을 고정한다: 솔벤트를 제거하는 소프트 베이크, 접착력을 고정하고 현상 거동을 안정...