赤外線ソフトベイクランプ

リソグラフィー工程において、ソフトベイク時の温度変動は、CD-SEMが異常を示すまで気づかない、見えにくい要因です。ウェーハ全体で0.5℃の温度差が生じると、重要な寸法制御が失われてしまいます。私たちは、このような温度変動を根本的に抑えるために、赤外線ソフトベイクランプを開発しました。 内部で何が...