クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法
クラス100のクリーンルームを運用する際、熱は非常に厄介な問題です。単に温度を適切に保つだけでは不十分で、目に見えない微粒子や有機化合物（VOC）の問題も考慮しなければなりません。これらの物質は、医薬品の品質を台無しにしたり、ウェーハを数秒で破壊してしまう可能性があります。そのため、特に洗浄や乾燥の工程では、高純度の合成石英を使った赤外線ランプを使用します。
石英が重要な理由
私たちは、不純物がほとんど含まれていない溶融シリカを使用しています。なぜかというと、一般的なガラスは加熱や冷却時に「煙を出したり」剥がれ落ちたりするからです。微粒子を極限まで排除しなければならないクリーンルームでは、これは大きな問題です。 この素材は、急激な温度変化にも耐えられます。また、洗浄ステーションでは、端部を防水パッキンで密封しています。これにより、フィラメント室に湿気が入らず、ランプが早期に故障するのを防ぎます。
風を使わない加熱方式
面白い点は、これらのランプは直接放射熱を利用していることです。熱は対流ではなく光子によって伝わるため、部屋内に空気を送り込む必要がありません。ご存知の通り、空気の流れはほぼ粉塵を運ぶ手段に過ぎません。 使用するワット数は、スペースの大きさに応じて選べます。高ワット数のランプは物を素早く乾燥させることができますが、大量の熱を発生させます。そのため、装置の筐体には必ず排気機能や十分な放熱装置が必要です。さもないと、装置の枠が曲がってしまう可能性があります。
実用的な側面
私たちは、これらのランプを簡単に交換できるようにしました。標準的なコネクタを使用しているため、配線を再接続する必要なく、新しいランプを簡単に取り付けられます。また、防水性があるため、湿度による短絡の心配もありません。 ただし、注意点があります。石英は壊れやすいのです。技術者が素手でランプに触れると、皮膚からの油分が熱源となり、ランプが故障する原因となります。**必ず無繊維の手袋を使用してください。**2秒間の作業で、後でのトラブルを大幅に減らせます。