熱の無駄遣いを止めよう：なぜ金コーティングされたIRが効果的か
正直言って、クリーンルームでエネルギーを無駄にするのは、単純に設計上の欠陥です。半導体ウェーハを加工しているときに、チャンバーの壁面がすべての熱を吸収してしまうと、効率的に処理することができません。
一般的な反射板は、熱を外に逃がすだけです。そこで役立つのが金コーティングです。確かに高価に聞こえますが、これは基本的な物理法則に基づいています。金はアルミニウムやステンレス鋼よりもはるかに優れて赤外線を反射します。その結果、筐体が過度に加熱されることなく、熱がウェーハ表面に直接届くのです。
エネルギーをどのように集中させるか
重要なのは、IR波をどのように扱うかということです。反射板に精密な金コーティングを施すことで、波を途中で失うことなく、目的の場所に戻すことができます。
その結果、高密度の熱領域が形成されます。電力を増やす必要なく、より多くのエネルギーがシリコンに届きます。重要なのは、より多くの電力を供給することではなく、エネルギーの流れをコントロールすることです。
問題点（注意点）
問題は、こんなに多くのエネルギーを狭い空間に集中させると、「熱の蓄積」が起こり得るということです。
金コーティングは効率性に優れていますが、空気の流れが適切でない場合、集中した熱がシール部品やセンサーに悪影響を与える可能性があります。私たちは正確な温度制御のためにこのシステムを設計していますが、冷却装置がその負荷に対応できるかどうかを確認する必要があります。そうでなければ、問題は別の場所に移っただけです。
ツールへの応用
最良なのは、これらのヒーターが通常のIRアレイの代替品として使えるということです。
金コーティングにより放射がより効果的になるため、通常はより低い電力で目標の温度に到達できます。クリーンルームのHVACシステムも、全体的な熱負荷が減少することで恩恵を受けます。
ちなみに、300mmウェーハ全体で均一に加熱されていない場合、まずはランプのせいにしないでください。たいていは、反射板の形状やコーティングの劣化が原因です。ピットや酸化がないか確認してみてください。コーティングが剥がれると、フラックスの均一性も低下します。