फैब में थर्मल प्रिसिजन को सही रखना
जब वेफरों को सुखाया जाता है, तो ऊष्मा ही सब कुछ है। लेकिन इसका संतुलन बनाए रखना बहुत ही महत्वपूर्ण है। यदि ऊष्मा सही तरीके से वितरित न हो, तो वेफरों पर विकृतियाँ या रासायनिक अवशेष बन जाते हैं। ऐसा होने से बचने हेतु हम उच्च-परावर्तकता वाली आईआर प्रणालियों का उपयोग करते हैं। दरअसल, हम उस ऊर्जा को वापस सब्सट्रेट पर ही भेज देते हैं। आधुनिक फैब में यह सिर्फ “ऊष्मा बढ़ाने” जैसा ही नहीं है; बल्कि यह वास्तविक समय में ऊर्जा का उपयोग करने एवं उसे बर्बाद होने से बचाने का तरीका है।
परावर्तकों का महत्व
एक सामान्य लैंप के बारे में सोचें – यह ऊर्जा को हर दिशा में फैलाता है… 360 डिग्री में। यदि आपके पास परावर्तक न हो, तो आप अपनी ऊर्जा का आधा हिस्सा बर्बाद कर रहे हैं।
इसीलिए हम सोने से लेपित या उच्च-शुद्धता वाले एल्यूमिनियम परावर्तकों का उपयोग करते हैं। ये परावर्तक उस ऊर्जा को सही जगह पर ही केंद्रित करते हैं। सबसे अच्छी बात यह है कि इससे वेफरों पर अधिक तापमान प्राप्त होता है, बिना वॉटेज बढ़ाए। इससे लक्षित जगह गर्म रहती है, जबकि बाकी हिस्से ठंडे रहते हैं। बहुत ही सरल।
इसे “स्मार्ट” बनाना
आधुनिक फैब में प्रयोग में आने वाले हर उपकरण को अन्य उपकरणों के साथ संवाद करना होता है। हम ऐसा परावर्तकों को आईआर सेंसरों एवं क्लोज्ड-लूप PID नियंत्रकों के साथ जोड़कर करते हैं।
यह एक लगातार प्रक्रिया है – सेंसर तापमान की जाँच करता है, और लैंप तुरंत ही अपनी ऊर्जा को समायोजित कर देता है। इस तरह ही हम उन “हॉट स्पॉट्स” से बच सकते हैं, जो पूरे वेफरों को नष्ट कर सकते हैं।
एक छोटी सी सलाह – अपने परावर्तकों की ज्यामिति को लैंप की फोकल लंबाई के अनुरूप ही रखें। यदि ऐसा न हो, तो वेफरों पर असमान तापमान पड़ेगा, और ऊर्जा की खपत भी बढ़ जाएगी।
रखरखाव की वास्तविकता
यहाँ समस्या यह है कि उच्च-परावर्तकता वाली परतें बहुत ही संवेदनशील होती हैं… धूल एवं रासायनिक वाष्पों के कारण इनकी परावर्तकता कम हो जाती है।
थोड़ी सी गंदगी भी परावर्तकता को 10% या 15% तक कम कर सकती है। ऐसी स्थिति में लैंपों को अधिक मेहनत करनी पड़ती है, जिससे वे जल्दी ही खराब हो जाते हैं।
आपको यह तय करना होगा कि आप उच्च-गुणवत्ता वाली परतों के लिए अधिक खर्च करना चाहते हैं, या बार-बार लैंप बदलने की परेशानी सहन करना चाहते हैं। मेरी सलाह है – नियमित रूप से सफाई करें… यही सबसे आसान तरीका है।